颁布功夫：2022-10-19 | 观光：6924
内容提要：特衷禅体(Specialty gas )重要有 SiH4、PH3、B2H6、A8H3、CL、HCL、CF4、NH3POCL3、SIH2CL2、 SIHCL3、NH3、BCL3、SIF4、CLF3、CO、C2F6、N2O、F2、HF、HBR、SF6……等等大部门是侵蚀性、毒性、点火性的气体。
特衷禅体(Specialty gas )重要有 SiH4、PH3、B2H6、A8H3、CL、HCL、CF4、NH3POCL3、SIH2CL2、 SIHCL3、NH3、BCL3、SIF4、CLF3、CO、C2F6、N2O、F2、HF、HBR、SF6……等等大部门是侵蚀性、毒性、点火性的气体。
针对侵蚀性、毒性、点火性的气体，通常设计将冈炜置于特气柜(Gas Cabinet)内，再通过管路将气体供给至现场左近的阀门箱(VMB, Valve Manifold Box)，而后再进入造程机台的使用点(POU, Point of Use)，于进入机台腔体之前，会有独立的气体节造盘(GB, Gas Box)与造程节造 ？榱，以质流流量计节造器(MFC, Mass Flow Controller)进行流量之节造与进气的混合比例节造，通常此气体节造盘不属于厂务系统的设计领域，而是归属造程机台设备的一部份。通常的惰性气体则是以盛开式的气瓶架(Gas Rack)与阀门盘(VMP, Valve Manifold Panel)进行供给。
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