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硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，蕴含甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高级的硅氢化合物
。目前利用最多的是甲硅烷
。通常把甲硅烷简称做硅烷
。

硅烷的利用

1，高纯硅烷跟高纯氨气一路用于出产太阳能薄膜电池将硅分子附着于电池表表2，跟高纯乙烯一路用于LOW-E镀膜玻璃的出产

3，高纯硅烷利用于大规模集成电路的表延成长工艺中用作硅源,

4，利用于国防、军事工业的研发、出产

5，硅烷在平板显示出产中也有沉要的用处,

6，用于低温二氧化硅CVD、用于氮化硅CVD

硅烷操作注明

用一个减压器或独立的节造阀安全地从气瓶内开释硅烷
。用单向阀来预防倒流
。不要用明火或其它左近的热源加热冈炜的任何部门
。

使用防火花工具
。不要试图对装有硅烷的冈炜进行建理、调节或其他扭转
。

用氢离子检测器监测硅烷的建理和在空气中的扩散，用红表/紫表监测器监测火警 
。所以的监测器都应有内锁，一旦发现问题立即自动堵截硅烷气源
。

若是出现故障或其他操作问题，请立即与最近的分销商联系
。

硅烷系统中不允许使用填压阀，只允许使用非填压的膜阀和波纹管阀
。在其分配系统中应装置过流阀或过流开关
。这样能够鄙人游管线产生爆炸时堵截气源
。这个开关阀应装置得离气源越近越好
。

如有可能应预防单独一幼我操作冈炜
。所有的操作都应这样进行,一旦产生泄漏，处置垂危情况的人员能够立即赶到
。

监测系统应设备备用或应急电源
。必须有？厮呒笨，必要时可关关硅烷气源
。

肯定不要拉、滚动或滑动容器
。用相宜的手推陈反移动容器，不要试图抓住气瓶的盖子来拎起它
。保障气瓶在使用的全过程中为固定状态
。

不成将工具(如：扳手，螺丝刀，等) 插入阀盖内
。 不然会败坏阀门并引起泄漏
。

一旦冈炜与吹扫和钝化过的系吐洮接好，应缓慢仔细地打开冈炜阀
。若是使用者在操作气瓶阀时有难题，需终场使用，并与供给商联系
。

使用可调节的带扳手来打开过紧或生锈的阀盖
。所有管路和有关设备接地
。电器设备必须防火花和防爆
。

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